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日本HORIBA S48-32HMT(≤50SLM)气体质量流量控制器
商品品牌:HORIBA
商品编号:19090511172200
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概要

  • 可以任意角度安装
  • 良好的线性——多段线性补偿
  • 快速的响应
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 对零点漂移有效的控制
  • 良好的选择性
  • 零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口
    编号项目S48 32/HMT
    1流量规格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
    (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
    2调节阀类型电磁调节阀
    3调节阀静止状态常闭
    4安装角度任意
    5流量控制范围2%~100%
    6流量测量范围0~100%
    7响应时间2s(T98,设定值的±2% F.S.)
    8工作环境温度5℃~50℃
    9精度保证温度15℃~35℃
    10精度±1.0%F.S.
    11线性精度±0.5%F.S.
    12重复性±0.2%F.S.
    13工作压差~5L/min (50~300)kPa(D)
    5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
    30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)
    14耐压3MPa
    15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
    16接触气体材料316L,PTFE,Viton氟橡胶
    17管路接头Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
    18供电电源±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA+24VDC(宽电压+11~+25V),
    <250mA(+24Vdc供电时)
    19设定信号(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
    20流量输出信号(0~5)VDC 负载能力≤3mA
    21电气接头D-SUB15,D-SUB9
    22重量(kg)0.9


    S48 32/HMT 安装尺寸图:undefined

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