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日本HORIBA S600气体流量控制器
商品品牌:HORIBA
商品编号:19090515211800
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日本HORIBA  S600(≤50SLM)(≤200SLM)气体流量控制器

应用:

      1.真空镀膜,LOW-E玻璃

      2.薄膜沉积系统

      3.燃料电池系统

      4.PV

      5.生物制药反应器

      6.净化空气

      7.过程分析,分析流量测试

      8.工业市场

产品特点:

     1.数字通讯;PROFIBUS model   RS-485 model

      2.小流量10SCCM~大流量200SLM

      3.橡胶密封,金属密封

      4.长期稳定性;零点长期稳定性   稳定流量控制性

      5.高精度;±1%S.P.(Set point Accuracy)

      6.快速响应;1.5sec以下(Typical 1.0sec)

      Digital Mass Flow Controller S600是采用数字信号通信,能够准确控制气体的质量流量装置,不收环境温度,供给气体压力变化的影响,按照电气信号给定的设定流量值自动调控。由于控制气体的质量流量,不受环境温度,压力等的外界影响,可以实现准确且稳定的流量测量,控制。

S600系列橡胶密封/金属密封

S600橡胶密封

产品型号

PROFIBUS(橡胶密封):BR226

PROFIBUS(金属密封):BM226

RS485(橡胶密封):BR222

RS485(金属密封):BM222

 

PROFIBUS(橡胶密封):CR226

 

RS485(橡胶密封):CR222

满量程流量

10/20/30/50/100/200/300/500

SCCM 1/2/3/5SLM

10/20/30SLM

50SLM

100SLM

150SLM

200SLM

阀类型

常闭

常闭

阀驱动

电磁调节阀

电磁调节阀

流量控制范围

2-100%F.S.

2-100%F.S.

响应时间

1.5SECTypical 1SEC

1.5SECTypical 1SEC

流量精度

±1.0%S,PFlow rate>30%F.S.

±0.3%F.S.Flow rate30%F.S.

 

±1.0%S,PFlow rate>30%F.S.

±0.3%F.S.Flow rate30%F.S.

 

线性

±0.5%F.S.

±0.5%F.S.

重复性

±0.2%F.S.

±0.2%F.S.

工作压差

50-300KPA(D)

100-300KPA(D)

200-300KPA(D)

100-300KPA(D)

150-300KPA(D)

200-300KPA(D)

最大工作压力

450KPA(G)

300KPA(G)

耐压

1MPA(G)

1MPA(G)

通讯

PROFIBUSRS485STEC协议)

PROFIBUSRS485STEC协议)

电源电压

+24VDC

+24VDC

功耗

7.5VA

7.5VA

工作环境温度

5-45(推荐温度范围:15-35

5-45(推荐温度范围:15-35

漏率

橡胶密封:1×10-10pa.m3/sHe

金属密封:1×11-10pa.m3/sHe

橡胶密封:1×10-10pa.m3/sHe

 

接触气体材料

橡胶密封:SUS316LPTFE、磁性不锈钢,氟橡胶

金属密封:SUS316LPTFE、磁性不锈钢

橡胶密封:SUS316LPTFE、磁性不锈钢,氟橡胶

 

标准接头尺寸

1/4inch SWL127mm/1/4inch VCR:124mm

3/84inch SWL181mm/1/2inch VCR:180mm

安装角度

任意

任意

       
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