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日本HORIBA SEC-Z500X系列多范围/多气体的数字式质量流量控制器
商品品牌:HORIBA
商品编号:19090515261100
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日本HORIBA SEC-Z500X系列多范围/多气体的数字式质量流量控制器

型号:

SEC-Z512KX  SEC-Z512MGX  SEC-Z522MGXN  SEC-Z532MGXN  SEC-Z542MGXN  SEC-Z552MGX  SEC-Z562MGX

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品  牌:HORIBA STEC
产品型号:SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原产  国:国外 日本 
详细说明:SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、流量计

质量流量控制器是半导体生产设备上的关键部件。它的质量和性能是影响半导体制程优劣的主要因素。HORIBA STEC作为一家长期以来,为半导体持续不断的提供高质量、高性能的元器件供应商,已将市场份额扩展到50%以上。

特征

  • 高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现量程上的高精度。为了真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现气体精度确认。
  • 高速响应
    装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改,也能不会影响PID功能。
  • 多气体,多量程解决方案
    HORIBA的配置软件可简单更改MFC的规格。MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举减少MFC库存需求,减少时间和成本的浪费。
 

制造: HORIBA STEC

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