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SEC-Z700S 系列新型压力补偿质量流量控制器

产品简介

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。 集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

产品型号:SEC-Z700S
发布时间:2020-07-21
厂商性质:一级代理
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SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。

SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。

基本特征

  • 多气体/多量程功能,客户可以更改气体类型和满量程流量
  • 稳定控制气流,不受上流和下流压力波动的影响
  • 集成多重显示
  • 超洁净设计:金属隔膜,全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
  • 尺寸紧凑,50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
  • 信号兼容:支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式

 

主要特征

  • 确保 1% 设定点精度(流量≥5%)
  • 高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)
  • 范围控制广(0.5-100% 满量程)
  • 可调响应(300ms≤t≤1000ms)
  • 高操作温度(15-60℃)
  • 低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)
  • 高耐腐蚀性设计

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