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Semiconductor

成功案例六

发布时间:2024-01-17点击次数:

金刚石 (MPCVD)

实验室培育钻石 (LGD) 的趋势是使用 MPCVD(微波等离子体 CVD)设备,该设备通过在基材上体积化碳 (C) 来人工生长钻石。据说它目前能够生产 20 克拉的钻石。当 CH4 和 H2 混合并被微波激发时,真空容器中会发生辉光放电。反应气体的分子被电离并产生等离子体。

在其 CVD 工艺中,使用了 HORIBA 的高质量气体流量控制技术、压力监测产品和压力控制解决方案。HORIBA 解决方案确保钻石生长质量始终如一。


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