光伏制造过程的过程控制与现场测量
HORIBA
SEC-N100系列多量程多气体质量流量控制器
数字式质量流量控制器
SEC-N100 适用于各种行业和应用。 该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。 SEC-N100 系列还支持各种通信模式,即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT。 SEC-N100 系列提供高精度(+/- 1.0% 设定点 *1)和高速响应。 该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能,可降低制程成本。 ®
*1 不包括 SEC-N17X 系列
多气体/多量程功能
模型 | 选择通信模式 | 选择电源 |
SEC-N102 系列 | 数字通信 ▶RS485 F-NET 协议 模拟通信 ▶0〜5VDC 直流电 | ±15VDC(±5%) HORIBA 的产品阵容包括租赁电源 PE 系列。 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通信 | 符合 ODVA 标准 |
SEC-N105 系列 | CC-Link® 通信 模拟通信 ▶0 至 5VDC,0 至 10VDC 4 至 20mA | 符合 CC-Link® 标准 24VDC(13 至 32VDC) |
SEC-N106 系列 | PROFIBUS™ 通信 模拟通信 ▶0 至 5VDC,0 至 10VDC 4 至 20mA | 符合 PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 至 32VDC) |
SEC-N107 系列 | EtherCAT® 通信 | 符合 EtherCAT® 标准 24VDC |
*1 不包括 SEC-N17X 系列
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