HORIBA
压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器
这款技术先进的压差式质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。
高性能 CRITERION D500 适用于一系列先进的半导体制程,具有压力补偿,多量程/多气体/多压力,G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能,高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。
摘要
“近期,伴随着物联网需求的增加,半导体器件的应用呈上升之势,半导体工厂目前正开足马力,尽量缩短设备的停机时间。为此需对半导体工装及其组件进行故障预检,从而导致半导体工艺的管理参数日益增多,相关规格也越来越严格。为达到规定的控制标准,要求质量流量控制器具有高速通信和故障预检功能,以及流量精度、再现性和入口压力补偿等性能。D507 系列结合 D500 系列可满足半导体工厂近来严格的管理要求。”
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