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MV-2000 系列混合喷射系统液体蒸发器

产品简介

MV-2000 使用新的龙卷风流法,即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化各种液体,甚至是具有挑战性的源,例如“High-k”,一种易于热解的液体源。

产品型号:MV-2000
发布时间:2024-11-26
厂商性质:一级代理
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MV-2000 系列

混合喷射系统液体蒸发器

MV-2000 使用新的龙卷风流法,即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化各种液体,甚至是具有挑战性的源,例如“High-k”,一种易于热解的液体源

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  • 使用新的旋流法在低温下稳定蒸发
  • 更高的流速汽化(添加稳定性数据)
  • 可以汽化容易热解的液体源


MV-2000 系列
液体材料除对不锈钢有腐蚀性的液体(例如 HCl、HF)外的所有液体
设定温度按汽化条件(控制阀 : 最高 140 °C 汽化器 : 最高 200 °C)
泄漏完整性≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
内部泄漏标准≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
接液部件SUS316L 、 PFA
温度传感器K 型热电偶 (CA)
耐压性1MPa(克)
标准接头液体入口:1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口:1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口:1/2 VCR 型 外螺纹
工作温度15 - 50 °C
选择空气阀(内漏标准:≤ 1×10-9 Pa·m3 / s(He))
可滚动
  • 产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异。我们会在咨询时推荐最适合您需求的型号。
  • 蒸发器内部有一个加热器、温度传感器和开关。请联系我们以获取有关其规格的更多详细信息。

 

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光伏制造过程的过程控制和原位测量
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电气设备中的光纤制造工艺
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