光伏制造过程的过程控制和原位测量
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HORIBA
VC 系列直接注液系统
直接注液系统
VC 系列能够在没有载气的情况下快速蒸发纯水或其他液体源,从而使您能够构建更紧凑的蒸发系统。
HORIBA 可以为您提供定制的汽化系统,包括 VC 系列和您需要的所有其他组件:
型 | VC-1420 系列 | ||
产生的流量*1(在 TEOS 生成期间) | 最大 5.0 CCM 转换(液相转换) | ||
支持的液体 | TEOS、P(OCH3)3、C6F6 | ||
温升 | 最高 150°C | ||
产生的压力*1 | 减压 | ||
外部泄漏完整性 | 1.0x10-8Pa·m3/秒 | ||
内部泄漏完整性 | 1.0x10-6Pa·m3/秒 | ||
湿材料 | 316L 不锈钢 ( 抛光表面 ) | ||
内部加热器容积 | 交流 100V 至 120V 70W(35Wx2) | ||
使用的温度传感器 | 热电偶 K 型 (CA) | ||
耐压性 | 1.0MPa(克) | ||
标准接头 | 液体入口:1/8 英寸 VCR 型公头 出气口:1/4 英寸 VCR 型母头 | ||
*1 因液体类型而异。 | |||
*CCM 是表示气体流速的符号(25°C 时 mL/min,101.3 kPa)。 |
外部尺寸
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