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VC 系列直接注液系统

产品简介

VC 系列能够在没有载气的情况下快速蒸发纯水或其他液体源,从而使您能够构建更紧凑的蒸发系统。

产品型号:VC 系列
发布时间:2024-11-26
厂商性质:一级代理
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VC 系列

直接注液系统

VC 系列能够在没有载气的情况下快速蒸发纯水或其他液体源,从而使您能够构建更紧凑的蒸发系统。

HORIBA 可以为您提供定制的汽化系统,包括 VC 系列和您需要的所有其他组件:

  • 用于流量测量的液体质量流量计,
  • 用于测量蒸汽流速的高温质量流量控制器,
  • 阀门、过滤器、加热器等
  • 紧凑的尺寸
  • 可安装在各种位置
  • 最畅销的 TEOS 汽化系统型号
  • 结合 SEF 或 LF,可进行数字控制
  • 无需特殊的鼓泡罐或汽化罐
  • DeviceNetTM 型号阵容
  • 符合 RoHS 标准。

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VC-1420 系列



产生的流量*1(在 TEOS 生成期间)

最大 5.0 CCM 转换(液相转换)



支持的液体

TEOS、P(OCH3)3、C6F6



温升

最高 150°C



产生的压力*1

减压



外部泄漏完整性

1.0x10-8Pa·m3/秒



内部泄漏完整性

1.0x10-6Pa·m3/秒



湿材料

316L 不锈钢 ( 抛光表面 )



内部加热器容积

交流 100V 至 120V 70W(35Wx2)



使用的温度传感器

热电偶 K 型 (CA)



耐压性

1.0MPa(克)



标准接头

液体入口:1/8 英寸 VCR 型公头 出气口:1/4 英寸 VCR 型母头



*1 因液体类型而异。



*CCM 是表示气体流速的符号(25°C 时 mL/min,101.3 kPa)。

可滚动

外部尺寸

直接注液装置 VC 系列的外形尺寸


光伏制造过程的过程控制和原位测量
光伏制造过程的过程控制和原位测量
研究和测试实验室的液体源汽化和供应
研究和测试实验室的液体源汽化和供应


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