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LE 系列大流量液源汽化控制系统

产品简介

一种高流量、高效率的液体蒸发器,其流道和加热元件嵌入铸铝块中,可确保最大的热传递,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300 C 的温度下运行,并可蒸发高达 30 g/min 的 IPA(或等效产品)。

产品型号:LE 系列
发布时间:2024-11-26
厂商性质:一级代理
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LE 系列

大流量液源汽化控制系统

一种高流量、高效率的液体蒸发器,其流道和加热元件嵌入铸铝块中,可确保最大的热传递,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300 °C 的温度下运行,并可蒸发高达 30 g/min 的 IPA(或等效产品)。

 

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  • 创新设计最大限度地提高汽化速率
  • 新的进样器喷嘴可确保一致的液体注入,有助于稳定的蒸汽输出浓度
  • 全不锈钢、全扫流路,具有最大的耐腐蚀性和最小的颗粒产生
  • 与多种类型的前驱体材料兼容。


应用液H2O/IPA/TEOS/SiCl4

如果您需要蒸发此处未列出的任何液体材料,请联系 HORIBA。
最大汽化量(气体流速)H2O : 10 克/分钟 (12.4 SLM)
IPA : 30 克/分钟 (11.1 SLM)
TEOS : 50 克/分钟 (5.3 SLM)
SiCl4 : 130 克/分钟 (17.1 SLM)
研究和测试实验室的液体源汽化和供应
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食品和饮料制造中的灭菌过程
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