研究和测试实验室的液体源汽化和供应
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HORIBA
LE 系列大流量液源汽化控制系统
大流量液源汽化控制系统
一种高流量、高效率的液体蒸发器,其流道和加热元件嵌入铸铝块中,可确保最大的热传递,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300 °C 的温度下运行,并可蒸发高达 30 g/min 的 IPA(或等效产品)。
应用液 | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 如果您需要蒸发此处未列出的任何液体材料,请联系 HORIBA。 |
最大汽化量(气体流速) | H2O : 10 克/分钟 (12.4 SLM) IPA : 30 克/分钟 (11.1 SLM) TEOS : 50 克/分钟 (5.3 SLM) SiCl4 : 130 克/分钟 (17.1 SLM) |
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