光伏制造过程的过程控制和原位测量
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HORIBA
LF-F/LV-F 系列数字液体质量流量计/控制器
数字液体质量流量计/控制器
LF-F 和 LV-F 系列是数字液体质量流量控制器,使用帕尔贴元件来冷却液体,而不是使用更常见的热加热方法。这种技术消除了低沸点化学品沸腾的风险,从而可以更好地进行化学控制。
测量技术
冷却测量方法
这些液体质量流量控制器中的流量传感器由一个与毛细管接触的电子冷却元件(帕尔贴元件)以及几个温度检测元件组成。当液体流动时,传感器检测与流量相对应的温升 (ΔT) 并将其显示为流量。与添加热量的方法不同,这种冷却方法可以测量低沸点液体的流速。它还可以防止由于二次排放(汽化)的影响而引起的干扰问题,并使精确的流量测量成为可能。
结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计使用相同的测量原理。LV-F 还具有一个压电陶瓷促动器阀和一个内部比较控制电路。它们比较流量设定信号和流量输出信号,并自动控制阀门孔径,使两个信号匹配以控制液体。由于采用反馈控制系统,因此不会因外部因素而产生流量变化,因此可以进行稳定和准确的控制。
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