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FS-3000热式气体分流器

产品简介

控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制,同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外,即使分流比改变,控制算法也能实现对分流的高速响应。

产品型号:FS-3000
发布时间:2020-07-21
厂商性质:一级代理
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FS-3000

热式气体分流器

FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器(MFC)和 MuCube(主控制器)的功能。通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC,FS-3000 实现了稳定的分流控制。

控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制,同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外,即使分流比改变,控制算法也能实现对分流的高速响应。

  • 提高可扩展性、维护性能。FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。若 MFC 出现故障,仅需更换故障从机即可。
  • 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。此外,FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。


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