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FS-3000热式气体分流器
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热式气体分流器
FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器(MFC)和 MuCube(主控制器)的功能。通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC,FS-3000 实现了稳定的分流控制。
控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制,同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外,即使分流比改变,控制算法也能实现对分流的高速响应。
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