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EC-5000 系列排气压力控制器
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上海首荣工业设备有限公司美国NK/Kes
HORIBA首荣公司参加第七届国际碳材料
【创新引领未来】我司成功发布新一代智能
【合作共赢】我司与行业领先企业HORIB
【荣誉加冕】我司荣获“年度最佳创新企业”
EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。
优点:
当排气流量被调整到适合水平:
与流量传感器控制相比,由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小,同时消除了湍流和其他噪声的影响,确保控制精准、稳定、迅速。
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