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EC-5000 系列排气压力控制器

产品简介

流量:单位时间流经风机的气体体积,常用单位是立方米每小时(m³/h)和立方英尺每分钟(CFM)。压力:风机进出口处气体压力之差,常用单位是帕(Pa)、毫米水柱(

产品型号:TDS-48RD
发布时间:2020-07-21
厂商性质:私有
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EC-5000 系列排气压力控制器

EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

优点:

  • 适用于高真空环境:不锈钢机身
  • 抗腐蚀:PTFE 机身可选
  • RoHS 标准

当排气流量被调整到适合水平:

  • 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
  • 防止烟雾的二次沉积
  • 防止危险蒸气扩散

与流量传感器控制相比,由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小,同时消除了湍流和其他噪声的影响,确保控制精准、稳定、迅速。

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