HORIBA
SemiconductorHORIBA 是世界上最大的气体和液体质量流量控制器制造商之一,拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。
HORIBA 可以提供涂层行业生产线成功所需的关键控制,例如化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD)、PVD(物理气相沉积)、等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 和金刚石层或金刚石层涂层 (DLC)。我们提供全面的流体控制和过程监控,以提高产量、提高产量并为您的镀膜工艺增加价值。
HORIBA 拥有世界上最小的四极杆质谱仪之一,使其能够在比大型传统系统高得多的压力 (1 Pa) 下运行。这减少了对额外泵送设备的需求。