在制造光纤时，等离子炬气体控制对工艺至关重要。HORIBA 的流量测量和控制技术用于精确和重复地控制这些气体的流量。为了制造预制棒，光纤制造商可以使用通过起泡器系统或热箱交付的 POCl3、SiCl4 和 GeCl4。汽化过程的精确和可重复控制取决于起泡器/热箱的精确操作和对载气的严格控制。

HORIBA 的旗舰产品 SEC-Z500X 系列可以控制高达 500slm 的流量，与我们的高温 SEC-8000 系列 MFC 相结合，是精确控制这些关键工艺气体流量的完美解决方案。