液体源汽化控制系统 - 汽化原理

注射方法

以下列表涵盖了蒸发液体源并将其供应到工艺腔室所涉及的主要步骤。

1. 测量液体源的流量，液体量由阀门反馈控制。

2. 液体瞬间完全蒸发。

3. 气体被释放，不允许冷凝回液态。

使用进样法的汽化系统按顺序执行上述步骤 1、2 和 3。VC 系列装置使用质量流量计测量液体源的液体流量，不使用载气。MI/MV 系列装置使用质量流量计进行测量，并具有质量流量控制器，可将载气引入装置以蒸发液体源。

气液混合法

这是 MI/MV 系列中使用的汽化方法。由于喷射器内部喷嘴前部的载气压力较高，因此可以有效地加热。液体源和加热的载气在喷嘴前部的气体/液体混合区域混合在一起，当它们通过喷嘴时，压力降低，使混合物蒸发。汽化效率高于传统汽化方法。使用此方法时，可以产生更大的流量，并且可以降低生成温度。