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LF-F/LV-F 系列液体精细质量流量控制器中的流量传感器由一个与毛细管接触的电子冷却元件(帕尔贴元件)以及多个温度检测元件组成。当液体流动时,传感器检测与流量对应的温升 (⊗T) 并将其显示为流量。与添加热量的方法不同,这种冷却方法可以测量低沸点液体的流速。它还可以防止由于二次排放(汽化)的影响而引起的干扰问题,并使精确的流量测量成为可能。
LV-F 系列质量流量控制器类似于 LF-F 系列质量流量计,但也具有压电执行器阀和内部比较控制电路。它们比较流量设定信号和流量输出信号,并自动控制阀门孔径,使两个信号匹配。由于采用反馈控制系统,因此不会因外部因素而产生流量变化,因此可以进行稳定、准确的控制。使用压电陶瓷致动器阀,既稳定又不产生热量,因为控制阀使这些装置成为低沸点液体流量控制的理想选择。
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