HORIBA 拥有多种产品，可满足您的流体测量和控制要求。

在各种制造工艺和研究实验室中，我们提供对气体和液体的精确测量和可靠控制。HORIBA 是高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统公认的领导者，其产品广泛应用于尖端半导体制造行业。

质量流量控制器根据作为电信号发送的设定流量自动控制气体的流量，不受使用条件或气体压力变化的影响。流量大致可分为体积流量和质量流量两种类型。体积流量测量受环境温度和压力的影响。为了获得真实流量，压力和温度条件需要是压力条件，从而提供更准确和稳定的流量测量和控制。我们的质量流量控制器作为需要精确控制流量或构建自动化生产线时不可或缺的设备，被广泛用于工业领域

结构和工作原理

这些质量流量控制器有一个流量测量部分，其中包括传感器、旁路、流量控制阀和特殊电路。
气体从入口接头输入，并被分开，使其流经流量传感器和旁路。传感器测量气体的质量流量，流量控制阀修改流量，使测得的流量与从外部流量设定信号接收到的流量之差为 0（零）。
该装置具有回路，因此即使存在可能影响引入气体供应压力的二次压力变化或环境温度变化，也会立即校正流量，从而确保稳定的流量控制。

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